Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок

dc.contributor.author	Рогов, Р.В.
dc.contributor.author	Мельничук, С.В.
dc.contributor.author	Воробец, Г.И.
dc.date.accessioned	2014-01-25T13:00:41Z
dc.date.available	2014-01-25T13:00:41Z
dc.date.issued	2005
dc.identifier.citation	Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок / Р.В. Рогов, С.В. Мельничук, Г.И. Воробец // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53633
dc.description.abstract	Экспериментальное моделирование аппаратно-программного обеспечения показало достаточную надежность работы системы и значительное уменьшение трудоемкости контроля и управления параметрами технологического процесса.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок	uk_UA
dc.title.alternative	Мережева система контролю технологічного процесу вирощування напівпровідникових кристалів і тонких плівок	uk_UA
dc.title.alternative	Network system for control of the technological process of the growth of semiconducting crystals and thin films	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA