Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике

Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике

Белянин, А.Ф. ; Самойлович, М.И. ; Житковский, В.Д. ; Каменева, А.Л.

Інші назви: Ударостійкі захисні плівкові покриття на основі AlN в електронній техніці
Strengthening thin film based on AIN in electronics

Тема: Технологические процессы и оборудование

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53629

Посилання: Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Дата: 2005

Завантажень: 1288

Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике

Анотація:

Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком.

Показати повний запис статті