Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике

dc.contributor.author	Белянин, А.Ф.
dc.contributor.author	Самойлович, М.И.
dc.contributor.author	Житковский, В.Д.
dc.contributor.author	Каменева, А.Л.
dc.date.accessioned	2014-01-25T12:48:43Z
dc.date.available	2014-01-25T12:48:43Z
dc.date.issued	2005
dc.identifier.citation	Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53629
dc.description.abstract	Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике	uk_UA
dc.title.alternative	Ударостійкі захисні плівкові покриття на основі AlN в електронній техніці	uk_UA
dc.title.alternative	Strengthening thin film based on AIN in electronics	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA