Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза

Белянин, А.Ф. ; Паль, А.Ф. ; Самойлович, М.И. ; Суетин, Н.В. ; Дзбановский, Н.Н. ; Митин, В.С. ; Пащенко, П.В. ; Тимофеев, М.А.

Інші назви: Формування наноструктурованих плівок ірідія та полікластерного алмазу
Formation of nanostructured iridium and polycluster diamond films

Тема: Технологические процессы и оборудование

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52895

Посилання: Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза / А.Ф. Белянин, А.Ф. Паль, М.И. Самойлович, Н.В. Суетин, Н.Н. Дзбановский, В.С. Митин, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 50-56. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Дата: 2007

Завантажень: 721

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза

Анотація:

Исследованы пленки Ir и алмаза в зависимости от условий получения. Рассмотрено применение поликластерных пленок алмаза в качестве теплоотводов ГИС и управляющих сеток электронных приборов.

Показати повний запис статті