Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза

dc.contributor.author	Белянин, А.Ф.
dc.contributor.author	Паль, А.Ф.
dc.contributor.author	Самойлович, М.И.
dc.contributor.author	Суетин, Н.В.
dc.contributor.author	Дзбановский, Н.Н.
dc.contributor.author	Митин, В.С.
dc.contributor.author	Пащенко, П.В.
dc.contributor.author	Тимофеев, М.А.
dc.date.accessioned	2014-01-08T22:10:54Z
dc.date.available	2014-01-08T22:10:54Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.citation	Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза / А.Ф. Белянин, А.Ф. Паль, М.И. Самойлович, Н.В. Суетин, Н.Н. Дзбановский, В.С. Митин, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 50-56. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52895
dc.description.abstract	Исследованы пленки Ir и алмаза в зависимости от условий получения. Рассмотрено применение поликластерных пленок алмаза в качестве теплоотводов ГИС и управляющих сеток электронных приборов.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза	uk_UA
dc.title.alternative	Формування наноструктурованих плівок ірідія та полікластерного алмазу	uk_UA
dc.title.alternative	Formation of nanostructured iridium and polycluster diamond films	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA