Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
Інші назви:
Технологія виготовлення автоемісійних кремнієвих катодів субмікронних розмірів
The preparation technology of field emission silicon cathode
The preparation technology of field emission silicon cathode
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров / А.A. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 50-53. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
Дата:
2007
Переглядів:
738
Завантажень:
834
Анотація:
Предложен практический способ формирования элементов субмикронных размеров с использованием совмещения с базовыми знаками стандартной проекционной литографии, предварительно созданными на этапе "нулевой" фотолитографии.
