Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
Інші назви:
Приладо-технологічне моделювання автоемісійних кремнієвих мікрокатодів
Device-technological simulation of field emission silicon microcathodes
Device-technological simulation of field emission silicon microcathodes
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут, С.В. Сапон, Ю.М. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 43-49. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
Дата:
2008
Переглядів:
763
Завантажень:
684
Анотація:
Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода.
