Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов

dc.contributor.author	Дружинин, А.А.
dc.contributor.author	Голота, В.И.
dc.contributor.author	Когут, И.Т.
dc.contributor.author	Сапон, С.В.
dc.contributor.author	Ховерко, Ю.М.
dc.date.accessioned	2014-01-03T23:17:30Z
dc.date.available	2014-01-03T23:17:30Z
dc.date.issued	2008
dc.identifier.citation	Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут, С.В. Сапон, Ю.М. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 43-49. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52488
dc.description.abstract	Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов	uk_UA
dc.title.alternative	Приладо-технологічне моделювання автоемісійних кремнієвих мікрокатодів	uk_UA
dc.title.alternative	Device-technological simulation of field emission silicon microcathodes	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA