Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
Інші назви:
Хімічне осадження з газової фази гетеро- та наноструктур сполук III-V
Chemical deposition from gas phase of the hetero- and nanostructures of III-V compounds
Chemical deposition from gas phase of the hetero- and nanostructures of III-V compounds
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V / В.А. Воронин, С.К. Губа, И.В. Курило // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 36-40. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
Дата:
2008
Переглядів:
745
Завантажень:
752
Анотація:
Исследованы технологические условия формирования перенасыщенной паровой фазы при низкотемпературной газотранспортной эпитаксии для выращивания гетеро- и наноструктур на основе соединений In1-xGax As, GaAs1-xPx.
