Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

Иванчиков, А.Э. ; Кисель, А.М. ; Медведева, А.Б. ; Плебанович, В.И.

Інші назви: Зміна властивостей плівок кремнійорганічних стекол після термічної та плазмохімічної обробок
Modification of spin-on-glass films properties during the thermal and plasma treatments

Тема: Материалы электроники

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52046

Посилання: Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.

Дата: 2009

Завантажень: 1105

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

Анотація:

Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла.

Встановлено, що оцінка якості плівки після різних технологічних операцій виготовлення ІС може проводитися по зміні спектру пропускання плівки. Це дозволяє виключити брак ІС, обумовлений обривом шару металу.

It is established, that the estimation of quality of a film after various technological operations of IC manufacturing can be realized by means of changing the transmission spectrum of the film. It allows to exclude rejects of ICs caused by breakage of a metal layer.

Показати повний запис статті