Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Ртутный микрозонд для исследования локальных электрофизических свойств полупроводниковых структур
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Ртутный микрозонд для исследования локальных электрофизических свойств полупроводниковых структур
Тема:
Функциональная микро- и наноэлектроника
Посилання:
Ртутный микрозонд для исследования локальных электрофизических свойств полупроводниковых структур / В.М. Попов, А.С. Клименко, А.П. Поканевич, Ю.М. Шустов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 1. — С. 35-38. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
Дата:
2010
Переглядів:
871
Завантажень:
908
Анотація:
С помощью ртутного микрозонда предложенной конструкции исследованы локальные электрофизические свойства структур Si-SiO₂ с тонким слоем оксида в области электрически активных дефектов с локальностью 5,25 мкм.
