Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
Тема:
Научно-промышленные центры СНГ
Посилання:
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос.
Дата:
1998
Переглядів:
511
Завантажень:
188
Анотація:
Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1.
