Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ

dc.date.accessioned	2018-07-15T11:15:47Z
dc.date.available	2018-07-15T11:15:47Z
dc.date.issued	1998
dc.identifier.citation	Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140770
dc.description.abstract	Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Научно-промышленные центры СНГ	uk_UA
dc.title	Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA