Structure and stress state of ion-plasma hafnium condensates

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізико-технічних проблем матеріалознавства
→
Functional Materials
→
Functional Materials, 2007, том 14
→
Functional Materials, 2007, № 2
→
Переглянути статтю

Structure and stress state of ion-plasma hafnium condensates

Vus, A.S. ; Malykhin, S.V. ; Pugachev, A.T. ; Reshetnyak, E.N. ; Azhazha, R.V. ; Kovtun, K.V.

Інші назви: Структура та напружений стан іонно-плазмових конденсатів гафнію

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136491

Посилання: Structure and stress state of ion-plasma hafnium condensates / A.S. Vus, S.V. Malykhin, A.T. Pugachev, E.N. Reshetnyak, R.V. Azhazha, K.V. Kovtun // Functional Materials. — 2007. — Т. 14, № 2. — С. 204-208. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.

Дата: 2007

Завантажень: 332

Structure and stress state of ion-plasma hafnium condensates

Анотація:

The 0.05-0.5 μm trick films have been obtained from GFE-1 grade hafnium target by magnetron sputtering using argon ions. Purity of the obtained films was controlled by X-ray fluorescence spectroscopy. The structure of films was explored by X-ray diffractometry. The compression residual stresses in the α-Hf films and the value of crystal lattice periods have been determined by X-ray strain measurement.

Показати повний запис статті