Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating
Репозиторій DSpace/Manakin
- Домашня сторінка
- →
- Фізико-технічні та математичні науки
- →
- Відділення фізики і астрономії
- →
- Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
- →
- Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics, 2000, том 3
- →
- Semicond. Physics Quantum Electronics & Optoelectronics, 2000, № 3
- →
- Переглянути статтю
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating
Інший ID:
PACS: 61.72.H, 73.40.Q
Посилання:
Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating / O.A. Agueev, A.M. Svetlichnyi // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 338-342. — Бібліогр.: 12 назв. — англ.
Дата:
2000
Переглядів:
688
Завантажень:
321
Анотація:
For semiconductor structure substrates with film coating disturbances we investigated thermoelastic stresses and their effect on defect production at isothermic heating. A developed mathematical model enables one to optimize the formation and annealing conditions for structures with film coating disturbances during annealing when manufacturing integrated microcircuits.
