Development of additional magnetron discharge in the drift region of an ion source with closed electron drift

Abstract

A gas discharge of the magnetron type which is formed in the beam drift region of an ion source with closed electron drift was investigated. The electric field due to the target bias potential results in the development of an additional gas discharge of the magnetron type in the drift region. Trajectories of electron beams emitted by the ion source were visualized using light emission from the working gas excited by the electrons.

Досліджений газовий розряд магнетронного типу, який виникає в просторі дрейфу пучків іонного джерела з замкненим дрейфом електронів. Електричне поле, викликане плаваючим потенціалом мішені, може призводити до розвитку в дрейфовому просторі додаткового газового розряду магнетронного типу. За світінням збудженого електронами робочого газу візуалізовані траєкторії електронних пучків, емітованих іонним джерелом.

Исследован газовый разряд магнетронного типа, возникающий в пространстве дрейфа пучков ионного источника с замкнутым электронным дрейфом. Электрическое поле, вызванное плавающим потенциалом мишени, приводит к развитию в дрейфовом пространстве дополнительного газового разряда магнетронного типа. По свечению возбужденного электронами рабочего газа визуализированы траектории электронных пучков, эмитированных ионным источником.