Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Development of additional magnetron discharge in the drift region of an ion source with closed electron drift

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Bordenjuk, I.V.
dc.contributor.author Panchenko, O.A.
dc.contributor.author Sologub, S.V.
dc.contributor.author Brown, I.G.
dc.date.accessioned 2017-01-07T16:04:47Z
dc.date.available 2017-01-07T16:04:47Z
dc.date.issued 2008
dc.identifier.citation Development of additional magnetron discharge in the drift region of an ion source with closed electron drift / I.V. Bordenjuk, O.A. Panchenko, S.V. Sologub, I.G. Brown // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 168-170. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. uk_UA
dc.identifier.issn 1562-6016
dc.identifier.other PACS: 52.50.Dg, 81.65.Cf
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110979
dc.description.abstract A gas discharge of the magnetron type which is formed in the beam drift region of an ion source with closed electron drift was investigated. The electric field due to the target bias potential results in the development of an additional gas discharge of the magnetron type in the drift region. Trajectories of electron beams emitted by the ion source were visualized using light emission from the working gas excited by the electrons. uk_UA
dc.description.abstract Досліджений газовий розряд магнетронного типу, який виникає в просторі дрейфу пучків іонного джерела з замкненим дрейфом електронів. Електричне поле, викликане плаваючим потенціалом мішені, може призводити до розвитку в дрейфовому просторі додаткового газового розряду магнетронного типу. За світінням збудженого електронами робочого газу візуалізовані траєкторії електронних пучків, емітованих іонним джерелом. uk_UA
dc.description.abstract Исследован газовый разряд магнетронного типа, возникающий в пространстве дрейфа пучков ионного источника с замкнутым электронным дрейфом. Электрическое поле, вызванное плавающим потенциалом мишени, приводит к развитию в дрейфовом пространстве дополнительного газового разряда магнетронного типа. По свечению возбужденного электронами рабочего газа визуализированы траектории электронных пучков, эмитированных ионным источником. uk_UA
dc.language.iso en uk_UA
dc.publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Вопросы атомной науки и техники
dc.subject Low temperature plasma and plasma technologies uk_UA
dc.title Development of additional magnetron discharge in the drift region of an ion source with closed electron drift uk_UA
dc.title.alternative Розвиток додаткового магнетронного розряду в просторі дрейфу іонного джерела з замкненим дрейфом електронів uk_UA
dc.title.alternative Развитие дополнительного магнетронного разряда в пространстве дрейфа ионного источника с замкнутым дрейфом электронов uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис