К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Физическая инженерия поверхности
→
Физическая инженерия поверхности, 2015 (том 13)
→
Физическая инженерия поверхности, 2015, № 2
→
Переглянути статтю

К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108727

Посилання: К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 276-281. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Підтримка: Из воспоминаний В. И. Фареника

Дата: 2015

Завантажень: 335