Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N

Abstract

Покрытия на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формировались распылением многокомпонентного катода вакуумно-дуговым методом. Исследование распределения образующих элементов и примесей по глубине осуществлялось методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии. Установлена определенная неравномерность распределения образующих элементов по глубине покрытия и присутствие примесей, обусловленных методом и средой формирования, а также структурой катода.

Покриття на основі системи (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формувалися розпиленням багатокомпонентного катода вакуумно-дуговим методом. Дослідження розподілу утворюючих елементів і домішок за глибиною здійснювалося методом енергодисперсійної рентгенівської спектроскопії. Встановлена певна нерівномірність розподілу утворюючих елементів за глибиною покриття і присутність домішок, зумовлених методом і середовищем формування та структурою катода.

Coatings based on the systems (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N was deposited by sputtering of multicomponent cathode using vacuum arc method. Investigation of the depth distribution of elements and impurities was carried out by energy dispersive X-ray spectroscopy. Certain inhomogeneity of the depth distribution of the elements has been found within the coating along with the presence of impurities caused by the method and conditions of deposition as well as the structure of the cathode.