Перегляд за автором "Шикуло, В.Е."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением 
    Иванчиков, А.Э.; Кисель, А.М.; Медведева, А.Б.; Плебанович, В.И.; Пономарь, В.Н.; Шикуло, В.Е. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003)
    Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления ...