Лучанинов, А.А.; Омаров, А.О.; Стрельницкий, В.Е.; Снежко, Д.В.; Рожицкий, Н.Н.
(2009)
Представлены результаты экспериментов по исследованию физических и электрохимических свойств легированных азотом электропроводящих алмазоподобных Ta-C:N покрытий. Покрытия получены осаждением из фильтрованной плазмы ...