Асніс, Ю.А.; Баранський, П.І.; Бабич, В.М.; Піскун, Н.В.; Статкевич, І.І.
(Оптоэлектроника и полупроводниковая техника, 2011)
Наведено дані щодо впливу стерильності вакуумної плавильної камери на вміст легувальної (P) і фонової (O) домішок в монокристалах Si, одержаних методом електронно-променевої безтигельної зонної плавки.