Павлович, И.И.; Томашик, В.Н.; Томашик, З.Ф.; Стратийчук, И.Б.; Копыл, А.И.
(Оптоэлектроника и полупроводниковая техника, 2011)
Исследован процесс химико-механического полирования (ХМП) поверхности полупроводниковых кристаллов Ві₂Te₃ и твердых растворов n-(Bi₂Te₃)₀,₉ (Sb₂Te₃)₀,₀₅(Sb₂Se₃)₀,₀₅ и p-(Bi₂Te₃)₀,₂₅(Sb₂Te₃)₀,₇₂(Sb₂Se₃)₀,₀₃ бромвыделяющими ...