Хрипунов, Г.С.; Пирогов, А.В.; Новиков, В.А.
(Физическая инженерия поверхности, 2014)
Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных ...