Вакив, Н.М.; Завербный, И.Р.; Заячук, Д.М.; Круковский, С.И.; Мрыхин, И.О.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005)
Описана разработанная установка и методика электрохимического профилирования многослойных эпитаксиальных структур n-GaAs.