Сукач, А.В.; Тетьоркін, В.В.; Матіюк, І.М.; Ткачук, А.І.
(Оптоэлектроника и полупроводниковая техника, 2016)
Розглянуто сучасний стан розробок InSb фотодіодів методом іонної імплантації. Проаналізовано особливості формування розупорядкованого шару у залежності від маси іона, його енергії та дози опромінення. Зроблено висновки ...