Головяшкин, А.Н.; Лежнев, Д.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены ...