Перегляд за автором "Кисель, А.М."

Результати 1-3 з 3

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

Иванчиков, А.Э.; Кисель, А.М.; Медведева, А.Б.; Плебанович, В.И. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009)

Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла.
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния

Иванчиков, А.Э.; Кисель, А.М.; Медведева, А.Б.; Плебанович, В.И. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2008)

Рассмотрены модель возникновения дефектов на поверхности поликристаллического кремния при обработке полупроводниковых пластин в травителе, а так-же модель удаления этих дефектов в растворах химикатов.
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

Иванчиков, А.Э.; Кисель, А.М.; Медведева, А.Б.; Плебанович, В.И.; Пономарь, В.Н.; Шикуло, В.Е. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003)

Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления ...

Результати 1-3 з 3

Пошук

Розширений пошук

Перегляд

Вся бібліотека

Перегляд за автором "Кисель, А.М."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд за автором "Кисель, А.М."

Пошук

Перегляд

Вся бібліотека

Мій обліковий запис