Ковалюк, З.Д.; Катеринчук, В.Н.; Кудринский, З.Р.; Кушнир, Б.В.; Нетяга, В.В.; Хомяк, В.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2015)
Методом высокочастотного магнетронного напыления сформирована тонкая оксидная пленка ZnO на ван-дер-ваальсовой поверхности моноселенида индия. Исследовано влияние вакуумного низкотемпературного отжига на электрические и ...