Василенко, Н.А.; Василенко, А.О.
(Проблемы машиностроения, 2013)
Повышение физических, механических и химических характеристик тонких нитридных пленок зависит от методов их осаждения и усовершенствования структуры, которая и определяет получаемые свойства. Методом ионной имплантации и ...