Вплив іонного бомбардування і шорсткості вихідної поверхні на оптичні параметри аморфних металевих сплавів

Abstract

У роботі досліджувався вплив бомбардування низькоенергетичними іонами аргону на оптичні властивості аморфних металевих сплавів Ni₄₀Fe₄₀B₂₀ та Ni₄₀Fe₅₀B₁₀ в діапазоні довжин хвиль волн λ = 500⋅10⁻⁶ – 1250⋅10⁻⁶ м. У результаті еліпсометричних вимірювань та вирішення оберненої задачі еліпсометрії встановлені оптичні характеристики сплавів. Показано, що бомбардування поверхні аморфних сплавів низькоенергетичними іонами призводить до зменшення оптичної товщини поверхневого шару. Виявлено, що “підкладки” різних за первинним станом поверхонь після полірування мають, практично, однакові показники поглинання ізаломлення.

В работе исследовалось влияние бомбардировки низкоэнергетическими ионами аргона на оптические свойства аморфных металлических сплавов Ni₄₀Fe₄₀B₂₀ и Ni₄₀Fe₅₀B₁₀ в диапазоне длин волн λ = 500⋅10⁻⁶ – 1250⋅10⁻⁶ м. В результате эллипсометрических измерений и решения обратной задачи эллипсометрии установлены оптические характеристики сплавов. Показано, что бомбардировка поверхности аморфных сплавов низкоэнергетичными ионами приводит к уменьшению оптической толщины поверхностного слоя. Выявлено, что “подложки”, различные по первичному состоянию поверхностей, после полировки имеют, практически, одинаковые показатели поглощения и преломления.

In the present work the influence of bombardment of low energy argon ions on optical properties of metal alloys Ni₄₀Fe₄₀B₂₀ and Ni₄₀Fe₅₀B₁₀ has been investigated in the range of wavelengths from λ = 500⋅10⁻⁶ to λ = 1250⋅10⁻⁶ m. On the basis of ellipsometric measurements and inverse ellipsometry problem solution the alloys optical characteristics have been determined. It is shown that, bombardment of the amorphous alloys by low energy ions leads to decrease in optical thickness of the surface layer. It is found, that “substrates” having different surfaces after polishing have the same reflection and refraction indices.