Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Травление поверхности металлов в плазме аргона
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | Капустин, В.Л. | |
| dc.contributor.author | Корж, А.Ф. | |
| dc.contributor.author | Широков, Б.М. | |
| dc.date.accessioned | 2016-04-17T21:53:46Z | |
| dc.date.available | 2016-04-17T21:53:46Z | |
| dc.date.issued | 2007 | |
| dc.identifier.citation | Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, А.Ф. Корж, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 84–86. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 1999-8074 | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98811 | |
| dc.description.abstract | Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном раз ряде аргона. Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, вкладываемой в разряд мощности, потенциала на подложке. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім індукційнім розряді аргону. Визначена залежність швидкості травлення Мо, W, Та, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності потенціалу на підкладинці. | uk_UA |
| dc.description.abstract | The treatment process of a metals surface in the dependent high-frequency induction discharge of argon is investigated. The dependenct of an etching velocity of Mo, W, Ta, and steel O18I10O from a chamber pressure in the induction discharge power and a potential on substrate is determined. | uk_UA |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Физическая инженерия поверхности | |
| dc.title | Травление поверхности металлов в плазме аргона | uk_UA |
| dc.title.alternative | Травлення поверхні металів у плазмі аргону | uk_UA |
| dc.title.alternative | Pickling to surfaces of metal in plasma of the argon | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
| dc.identifier.udc | 621.793.14 |
