Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Егоров, С.Г.
dc.contributor.author Червоный, И.Ф.
dc.contributor.author Воляр, Р.Н.
dc.date.accessioned 2016-03-08T20:58:02Z
dc.date.available 2016-03-08T20:58:02Z
dc.date.issued 2009
dc.identifier.citation Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 36-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. uk_UA
dc.identifier.issn 0233-7681
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96009
dc.description.abstract Исследован процесс выращивания монокристаллов кремния способом индукционной бестигельной зонной плавки с применением подогревающего индуктора. При помощи математического моделирования установлены параметры электромагнитного поля подогревающего индуктора и определены условия, при которых электромагнитное поле подогревающего индуктора оказывает влияние на условия выращивания монокристаллов. uk_UA
dc.description.abstract Process of growing single crystals of silicon by the method of induction crucible-free zonal melting with use of preheating inductor was investigated. Using the mathematical modeling, the parameters of electromagnetic field of phreheating inductor were established and conditions, at which the electromagnetic field of preheating inductor has an influence on the conditions of single crystal growing, were defined. uk_UA
dc.language.iso ru uk_UA
dc.publisher Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Современная электрометаллургия
dc.subject Вакуумно-индукционная плавка uk_UA
dc.title Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии uk_UA
dc.title.alternative Mathematical model of inductor field effect on coefficient of impurity distribution in silicon uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA
dc.identifier.udc 669.187.58


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис