Егоров, С.Г.; Червоный, И.Ф.; Воляр, Р.Н.
(Современная электрометаллургия, 2009)
Исследован процесс выращивания монокристаллов кремния способом индукционной бестигельной зонной плавки с применением подогревающего индуктора. При помощи математического моделирования установлены параметры электромагнитного ...