Индутный, И.З.; Крючин, А.А.; Бородин, Ю.А.; Данько, В.А.; Луканюк, М.В.; Минько, В.И.; Шепелявый, П.Е.; Гера, Э.В.; Рубиш, В.М.
(Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2013)
Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что ...