Peculiarities of atomic oxygen concentration measurement by means of actinometry in negative glow plasma of low pressure discharge in oxygen

Abstract

This proceeding presents results of investigations of an influence of dissociative excitation and cascading processes on precision of oxygen dissociation degree measurement in negative glow plasma of low pressure discharge by means of actinometry based on emission of O (844.6 nm) and Ar (750.4 nm) with the use of different model and calculated shapes of electron energy distribution function.

Представлены результаты исследования влияния процессов диссоциативного возбуждения и каскадирования при различных формах модельных и расчетных функций распределений электронов по энергиям на точность определения степени диссоциации кислорода в плазме отрицательного свечения разряда низкого давления методом актинометрии с использованием излучения линий О (844,6 нм) и Ar (750,4 нм).

Представлено результати досліджень впливу процесів дисоціативного збудження та каскадування при різних формах модельних та розрахункових функцій розподілу електронів за енергіями на точність визначення дисоціації кисню в плазмі негативного світіння розряду низького тиску методом актинометрії з використанням випромінювання ліній О (844,6 нм) та Ar (750,4 нм).