Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера

Abstract

Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по массам пучок газовых ионов с энергией 20…150 кэВ и током на образце до 50 мкА. Величина индукции электромагнита масс-сепаратора первичных ионов позволяет использовать первичные ионы с M/Z от 1 до 40. В качестве масс-анализатора вторичных частиц использован монопольный масс-спектрометр МХ7304А, обеспечивающий диапазон массовых чисел 1…400 при массовом разрешении на уровне 1М. Порог чувствительности прибора в режиме анализа вторичных нейтралей составляет порядка 10 ppm.

A secondary neutrals mass spectrometer variant with electron-ray ionization of sputtered particles have been proposed. An apparatus assembled on base of high-dose implanter which form a focussed and separated on mass beam of gas ions with energies 20…150 keV and current at sample about 50 µ A. A magnetic induction value of a massseparator electromagnet allow to use initial ions with ratio M/Z from 1 to 40. The monopole mass spectrometer MX7304A, that ensure a interval of mass values from 1 to 400 at mass resolution about 1 M, used as a secondary particle mass analyser. A apparatus threshold of sensitivity in secondary neutrals analysis is in the range of 10 ppm.

Запропонований варіант мас-спектрометру вторинних нейтралів з електронно-проміневою іонізацією розпилених частинок. Установка змонтована на базі високодозного іонного імплантеру, що формує сфокусований та сепарований за масами пучок газових іонів з енергією 20…150 кеВ та струмом на зразку до 50 мкА. Величина індукції електромагніту мас-сепаратора первинних іонів дозволяє використовувати первинні іони з M/Z від 1 до 40. У якості мас-аналізатора вторинних частинок використано монопольний мас-спектрометр МХ7304А, який забезпечує діапазон масових чисел 1…400 при масовому розрізненні на рівні 1 М. Поріг чутливості прибору у режимі аналізу вторинних нейтралів складає порядку 10 ppm.