О влиянии предварительной ионной бомбабрдировки на структуру переходной зоны покрытия - подложка

Abstract

Представлены результаты исследования методом вторично-ионной эмиссии покрытий системы CrN - алюминий, формируемых в условиях осаждения хрома с одновременным облучением ионами азота с энергией 30 кэВ при температуре 300°С. В работе показана возможность использования предварительной ионной обработки поверхности алюминиевой подложки для стимулирования более интенсивной диффузии алюминия и азота в хромовый конденсат. Обнаружено, что предварительное облучение алюминиевой подложки ионами азота до доз 1,7•10¹⁷ и 3,4•10¹⁷ ион/см² приводит к увеличению ширины переходной зоны между подложкой и покрытием и уменьшению содержания углерода и кислорода в этой зоне.

Приведені результати вивчення методом вторинно-іонної емісії покриттів системи Cr-N – алюміній, сформованих в умовах осідання хрому з одночасним опроміненням іонами азоту з енергією 30 кеВ при температурі 300°С. В роботі показана можливість використання попередньої обробки поверхні алюмінієвої підкладки для стимулювання більш інтенсивної дифузії алюмінію і азоту до хромового конденсату. Виявлено, що попереднє опромінення алюмінієвої підкладки іонами азоту до доз 1,7•10¹⁷ та 3,4•10¹⁷ іон/см² призводить до збільшення ширини перехідної зони між підклад¬ кою та покриттям і зменшує концентрацію вуглецю і кисню в цій зоні.

The results of examination by method of secondary – ion emission of coatings of system Cr-N - aluminium substrate in re ¬ quirements of a deposition chromium with a simultaneous irradiation by ions of nitrogen with energy 30 keV at temperatures 300°С are submitted. In operation the opportunity of use of preirradiation processing of a surface of an aluminium substrate for stimulate the diffusion of aluminium and nitrogen in a chromic condensate is shown. It is revealed, that a preirradiation of an aluminium substrate by ions of nitrogen up to doses 1,7•10¹⁷ ions / sm² and 3,4•10¹⁷ ions / sm² gives the broadering of a transition zone between a substrate and coating and decreases the content of carbon and oxygen in this zone.