This scientific paper delves into the findings of the investigation carried out to determine the adsorption and electrophysical characteristics of nanoporous (V, 10 at.% Ti)Nx films obtained using the ion beam-assisted deposition technique (IBAD). It has been shown that these films can accumulate more than 7 wt.% hydrogen at a relatively low pressure of 0,5 MPa. One part of it is accumulated in the grain boundaries and pores but another one forms the hydride phase. A complete release of hydrogen occurs at a temperature of 250 °C. During the hydrogen desorption the specific resistivity of (V, 10Ti)NxHy films is roughly increased by a factor of 10⁷.
Приведены результаты исследований адсорбционных и электрофизических характеристик нанопористых пленок (V, 10 ат.% Ti)Nx, полученных с применением технологии ионно-стимулированного осаждения. Использование данной технологии позволило получить нанокристаллическую структуру, межзеренное пространство в которой заполнено порами размером менее 6 нм. Показано, что при относительно низком давлении (0,5 МПа) такие объекты могут аккумулировать более 7 вес.% водорода. Одна часть его накапливается в межзеренных границах и порах, другая часть – в виде гидридной фазы. Полное выделение водорода происходит при температуре 250 ºС. В процессе десорбции водорода удельное электросопротивление (V, 10Ti)NxHy-пленок увеличивается примерно в 10⁷ раз.
Приведено дані досліджень адсорбційних та електрофізичних характеристик (V, 10 ат.% Ti)Nx нанопорових плівок, здобутих за допомогою технології іонно-стимульованого осадження. Використання даної технології дозволило створити нанокристалічну структуру, міжзеренних простір в якій заповнений порами розміром не більше 6 нм. Виявлено, що при відносно низькому тиску (0,5 МПа) такі об’єкти можуть акумулювати більш ніж 7 ваг.% водню. Одна його частина накопичується у міжзеренному просторі, а інша – у вигляді гідридної фази. Повне виділення водню має місце при температурі 250 ºС. У процесі десорбції водню питомий електроопір (V, 10Ti)NxHy-плівок збільшується приблизно у 10⁷ разів.
