Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Bопросы атомной науки и техники, 2015 за автором "Hladkovskiy, V.V."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Bопросы атомной науки и техники, 2015 за автором "Hladkovskiy, V.V."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields 
    Hladkovskiy, V.V.; Fedorovich, O.A.; Polozov, B.P.; Kruglenko, M.P. (Вопросы атомной науки и техники, 2015)
    The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic ...
  • The bias voltage and its influence on the etching rate of silicon 
    Fedorovich, О.А.; Hladkovskiy, V.V.; Polozov, B.P.; Kruglenko, М.P. (Вопросы атомной науки и техники, 2015)
    The influence of the bias voltage on the silicon etching rate in the plasma-chemical reactor (PСR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of the silicon etching rate on the power, discharge ...

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис