Батурин, В.А.; Еремин, С.А.; Пустовойтов, С.А.; Литвинов, П.А.; Карпенко, А.Ю.; Мирошниченко, В.И.
(Вопросы атомной науки и техники, 2015)
Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов ...