Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода

Abstract

В работе с помощью КР-, РФЭ-, электронной Оже-спектроскопии с ионным травлением и атомно-силовой микроскопии была изучена структура многослойных покрытий на аустенитной нержавеющей стали, которые формировались последовательным нанесением в одном технологическом цикле наноразмерных слоев титана и алмазоподобного углерода дуговым и импульсно-дуговым методом соответственно. Показано, что при формировании многослойного покрытия образовывались межфазные слои благодаря концентрационной и ионностимулированной диффузии, в основном, атомов углерода. Исследовано влияние температуры отжига на воздухе на структуру углеродной фазы и распределение химических элементов по толщине покрытия.

У роботі за допомогою КР-, РФЕ-, електронної оже-спектроскопії з іонним травленням і атомносилової мікроскопії була вивчена структура багатошарових покриттів на аустенітній нержавіючій сталі, які формувалися послідовним нанесенням в одному технологічному циклі нанорозмірних шарів титану й алмазоподібного вуглецю дуговим та імпульсно-дуговим методом відповідно. Показано, що при формуванні багатошарового покриття утворювалися міжфазні шари завдяки концентраційній та іонно-стимульованій дифузії, в основному, атомів вуглецю. Досліджено вплив температури відпалу на повітрі на структуру вуглецевої фази й розподіл хімічних елементів за товщиною покриття.

In this work the structure of the multilayer coatings on the austenitic stainless steel, which were formed by the successive titanium and carbon nanolayers deposition at one technological cycle by arc and pulsed arc methods correspondingly, was investigated by Raman scattering, XPS, Auger-electron spectroscopy and AFM methods. It was shown that interfacial layers formation during deposition of multilayer coating due to concentration and ionstimulated diffusion of carbon atoms were formed generally. It was explored the influence of the annealing temperature at air on carbone phase structure and on chemical elements distribution by coating thickness.