Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge

Abstract

A new solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge is described. The ions of working gas are used to bombard and sputter a cylindrical target made of metal or dielectric material. The sputtered atoms can be ionized and extracted by an ion optical accelerating system. Tests have shown that the ion source can operate stably for a long time that is principally defined by the target consumption. The mixed beam consisting of various solid ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) and ions of working gas can be obtained.

Представлено новий прискорювач твердотільних іонів на базі магнетронного розпилюючого розряду. В такому іонному джерелі іони робочого газу використовуються для бомбардування і розпилювання матеріалів, які використовуються як циліндрична мішень. Розпилені атоми іонізуються й екстрагуються іонно-оптичною прискорюючою системою. Випробування показали, що іонний прискорювач може стабільно працювати протягом довгого часу без аніяких проблем і потребує лише заміни розпилюваної мішені. Отримані пучки різноманітних твердотільних іонів (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) змішаних з іонами робочого газу.

Представлен новый ускоритель твердотельных ионов на базе магнетронного распылительного разряда. В таком ионном источнике ионы рабочего газа используются для бомбардировки и распыления цилиндрической мишени, сделанной из металла или диэлектрического материала. Распыленные атомы могут быть ионизированы и извлечены ионно-оптической ускоряющей системой. Испытания показали, что ионный источник может устойчиво работать в течение длительного времени, которое преимущественно определяется расходом мишени. Получены смешанные ионные пучки, состоящие из различных твердотельных ионов (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) и ионов рабочего газа.