Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ

Abstract

ННЦ ХФТИ сохраняет традиции лидерства в разработке вакуумно-дуговых технологий и оборудования. Разработаны и успешно используются планарные испарители, обеспечивающие высокую производительность и равномерность покрытий на больших поверхностях, создан двухступенчатый вакуумно-дуговой разряд, на базе которого разработаны технологии азотирования стальных изделий и последующего нанесения покрытий в едином технологическом процессе. В последние годы успешно разрабатываются сверхтвёрдые наноструктурные покрытия на основе нитридов переходных металлов, в том числе TiN, TiN-CrN, TiSiN, осаждаемые в диапазоне температуры подложки от 100 до 500 °С с твердостью 40 ÷ 68 ГПа.

ННЦ ХФТІ зберігає традиції лідерства в розробці вакуумно-дугових технологій і устаткування. Розроблені й успішно використовуються планарні випарники, що забезпечують високу продуктивність і рівномірність покриттів на великих поверхнях, створений двоступеневий вакуумно-дуговий розряд, на базі якого розроблені технології азотування сталевих виробів і наступного нанесення покриттів у єдиному технологічному процесі. В останні роки успішно розробляються надтверді наноструктурні покриття на основі нітридів перехідних металів, у тому числі TіN, TіN-CrN, Ti-Si-N, що осаджуються в діапазоні температури подкладки від 100 до 500 °С з твердістю 40 ÷ 68 ГПа.

The NSC KIPT keeps the tradition of leadership in developing of vacuum-arc technology and equipment. Planar evaporators, which provide high productivity and uniformity of the coatings on large surfaces, have been developed and successfully used; two-phase vacuum-arc discharge has been obtained; technology of steel items nitriding and following coatings deposition in a single engineering process are developed on the base of this. In recent years superhard nanostructured coatings on the base of transition metals nitrides including TiN, TiN-CrN, Ti-Si-N, which are deposited in the range of temperatures of 100 – 500 °С with the hardness of 40 ÷ 68 GPa are successfully developed.