Сагалович, А.В.; Григорьев, А.В.; Кононыхин, А.В.; Попов, В.В.; Сагалович, В.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2011)
Разработан процесс нанесения покрытий Мо-С покрытий методом газофазного осаждения с использованием металлорганических соединений. Описаны конструктивные особенности установки для пиролиза металлорганических соединений ...