Гордиенко, Ю.Е.; Щербак, Е.Л.; Левченко, А.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2015)
В работе развиты предшествующие теоретические и экспериментальные исследования локального СВЧ нагрева полупроводников, диэлектриков и биообъектов. В результате сформулированы положения, оценивающие зависимость кинетики и ...