Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене

Abstract

Исследован процесс аномально быстрого образования и роста силицидов молибдена при активированном диффузионном насыщении. Предложен механизм регулирования тепловыделения в реакционной зоне. Рассмотрены случаи примесного и беспримесного инициирования процесса.

Досліджено процес аномально швидкого утворення та зростання силіцидів молібдену під час активованого дифузійного насичення. Запропоновано механізм регулювання тепловиділення в реакційній зоні. Розглянуто випадки домішкового та бездомішкового ініціювання процесу.

The process of molybdenum silicides anomalous rapid forming and growth was studied. The heat emission control mechanism in reactionary zone was offered. The cases of initiation process by doping of admixtures and without them were considered.