Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Физическая инженерия поверхности
→
Физическая инженерия поверхности, 2011 (том 9)
→
Физическая инженерия поверхности, 2011, № 4
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Величко, И.Г.
dc.contributor.author	Недоля, А.В.
dc.contributor.author	Титов, И.Н.
dc.date.accessioned	2015-02-14T16:59:27Z
dc.date.available	2015-02-14T16:59:27Z
dc.date.issued	2011
dc.identifier.citation	Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы / И.Г. Величко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 363–368. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1999-8074
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76954
dc.description.abstract	Предложена математическая модель, учитывающая влияние лазерного излучения на распре¬деление температуры и формирование осадка тугоплавкого металла на диэлектрическую под¬ложку при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы. Модель учитывает параметры лазерного излучения для получения поверхностных структур с наперед заданными размерами и формой.	uk_UA
dc.description.abstract	Запропонована математична модель, яка враховує вплив лазерного випромінювання на розподіл температури і формування осаду тугоплавкого металу на діелектричну підкладку при лазерно- індукованому піролізі з парової фази. Модель враховує параметри лазерного випромінювання для отримання поверхневих структур з наперед установленими розмірами і формою.	uk_UA
dc.description.abstract	The mathematical model, which considers the effect of the laser radiation on the temperature dist¬ribution and shaping of sediment of refractory metal on dielectric substrate by pyrolysis LCVD is proposed. The model takes into account the parameters of laser radiation for obtaining surface structures with predetermined size and shape.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Физическая инженерия поверхности
dc.title	Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	535-1:519.8:66.092-977