Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення інформатики
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2008 (том 10)
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2008, № 2
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Тарнай, А.А.
dc.contributor.author	Кириленко, В.К.
dc.contributor.author	Рубіш, В.М.
dc.contributor.author	Гера, Е.В.
dc.date.accessioned	2010-04-02T12:25:13Z
dc.date.available	2010-04-02T12:25:13Z
dc.date.issued	2008
dc.identifier.citation	Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів - середовищ для голографії та оптичного запису інформації / А.А. Тарнай, В.К. Кириленко, В.М. Рубіш, Е.В. Гера // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2008. — Т. 10, № 2. — С. 32-36. — Бібліогр.: 10 назв. — укp.	uk_UA
dc.identifier.issn	1560-9189
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7565
dc.description.abstract	Розроблено установку для дослідження кінетики рідинного травлення тонких плівок халькогенідних склоподібних матеріалів (неорганічних резистів) і одержання інформаційного мікрорельєфу в статичному, динамічному з циркуляцією та динамічному з утилізацією травника режимах в інтервалі температур 293 - 353 K	uk_UA
dc.description.abstract	Разработана установка для исследования кинетики жидкостного травления тонких пленок халькогенидных стеклообразных материалов (неорганических резистов) и получения информационного микрорельефа в статическом, динамическом с циркуляцией и динамическом с утилизацией травителя режимах в интервале температур 293–253 К.	uk_UA
dc.description.abstract	An apparatus for investigations of liquid etching kinetics of thin chalcogenide vitreous films (inorganic resist) in static, dynamic with circulation and dynamic with utilization of the etchant, modes in the temperature range of 293–353 K and obtaining an information microrelief is developed.	uk_UA
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Реєстрація, зберігання і обробка даних
dc.subject	Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних	uk_UA
dc.title	Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації	uk_UA
dc.title.alternative	Установка для исследования процессов жидкостного травления пленочных объектов — сред для голографии и оптической записи информации	uk_UA
dc.title.alternative	Apparatus for Investigation of Liquid Etching Processes of Film Objects — Media for Holography and Optical Information Recording	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	004.08; 004.023; 004.085