Числовое моделирование свойств ближнеполевого микрополоскового зонда пирамидальной формы

Abstract

Для получения пространственного разрешения в несколько нанометров и высокой оптической эффективности в ближнеполевом сканирующем микроскопе предложен пирамидальной формы микрополосковый зонд (ПМЗ), а также ПМЗ с металлическим выступом. Полученные при числовом моделировании параметры зонда дают основание для использования обоих типов зондов для оптического и магнитного метода записи информации, субмикронной литографии и других типов нанотехнологий, которые используют свет для модификации тонкого поверхностного слоя.

Для отримання просторової здатності у декілька нанометрів і високої оптичної ефективності в ближньопольовому мікроскопі запропоновано пірамідальної форми мікросмужковий зонд (ПМЗ), а також ПМЗ з металевим виступом. Отримані при числовому моделюванні параметри зонду дають підставу для використання обох типів зондів для оптичного та магнітного методу запису інформації, субмікронної літографії та інших типів нанотехнологій, які використовують світло для модифікації тонкого поверхневого шару.

For obtaining spatial resolution of several nanometers and high optical efficiency in a near-field scanning microscope a pyramid-shaped microstrip probe (PMP) and a PMP with a metallic bump are offered. The probe parameters obtained at numerical modeling give ground for using both types of probes for optical and magnetic methods of information recording, for submicron lithography and other types of nanotechnologies which use the light for modifying a thin surface layer.